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硅片清洗剂的特点及介绍

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硅片清洗剂的特点及介绍

分类:
行业新闻
2018/08/20 15:06
浏览量
  GH-102型产品为双组分产品,A剂主要有钾盐、缓蚀剂、络合剂、助洗剂组成,B剂主要由表面活性剂聚合复配而成。试剂级氢氧化钾提供皂化碱度,有聚合的高效缓蚀剂、络合剂、助洗剂及表面活性剂提供洗净性,本品对动物油、植物油、矿物油污、悬浮液、碾磨膏的乳化、皂化、洗净性都有很好的表现,对金属离子有很强的剥离、络合、洗净效果,经检测对油污的洗净率为99%,对铜、铁等金属离子的剥离、络合、洗净效果达到98%以上,同时GH-102型产品不含钙、镁、铁、铜、铅等金属离子,且不含磷,符合欧盟ROHS要求,环保性好,清洗能力强。
 
主要特性:
1)GH-102型为高浓缩双组分产品,尤其适合清洗重污染硅片;
2) 不含磷,符合欧盟ROHS环保要求;
3)低泡产品,超声波清洗线使用,不会有泡沫溢出;
4)除钾、钠离子以外的金属离子含量不高于50PPm,能满足高精度的IT要求。
使用说明:
1) 在清洗槽中先加3/4纯净水;
2)如果在手动线使用,建议每100升槽液中加入1~2公斤GH-102A 型硅片清洗剂和0.5~1公斤GH-102B型硅片清洗剂,并尽可能减少中间的添加量,提高工作效率,当遇到磨光碾磨膏硅片及回收悬浮液切割的硅片时可以根据具体情况在每8小时添加开槽量的一半,为了保证清洗效果,建议每清洗10000~12000片硅片彻底更换;
3)一般每公斤GH-102型可以处理125#单晶硅片2000片以上,添加时可以根据该比例计算,当遇到磨光碾磨膏硅片及回收悬浮液切割的硅片时应适当增加药剂量,当然在保证硅片成品率的情况下也可适当减少添加量;
4)将纯净水加至操作液位,加温到所需温度,即可以使用;
5)硅片在清洗过程中尽可能减少裸露在空气中的时间,以防止产生花片。
控制参数:
游离碱度        6~10点(工作液)          
槽液温度        50~55℃(温度高时,处理时间可以缩短)
处理时间        2~4分钟(根据设备条件选择)
工艺操作示意图:
 
 
清洗操作规程:
1.清洗剂配比方案:
第一槽:客户可以根据工艺要求处理;
第二槽:流动纯净水清洗;
第三槽:GH-102A硅片清洗剂1~2kg,GH-102B硅片清洗剂0.5~1kg;
第四槽:GH-102A硅片清洗剂1~2kg,GH-102B硅片清洗剂0.5~1kg;      
第五槽:以后的所有槽位用流动纯水清洗,一般是3~4个水洗槽.
2.各清洗槽温度控制:
第三槽:温度设定50~55℃
第四槽:温度设定50~55℃
3.各清洗槽清洗时间:不低于2分钟;一般为3~5分钟为宜。
4.清洗剂更换周期:
1)手动线可以每班更换一次,
2)自动线可以每1~3班更换一次,
检测方法:
1) 游离碱度
      用移液管将10毫升槽液移入锥形瓶中,加入3~4酚酞指示剂,然后用0.1N的盐酸滴定,颜色由红色至无色即为终点,此时所消耗的0.1N的盐酸毫升数即为槽液的游离碱度。
2)PH值:用PH计进行测试,
注意事项:
1.线切后的晶棒不可以沾水,如不能及时清洗,最好先存放在悬浮液或清洗剂中(全部浸没);
2.线切后的晶棒一旦上架清洗,必须马上处理。而且在整个清洗过程中不可让硅片自然干燥;
3.脱胶时必须保持硅片润湿,亦不可自然干燥;
4.一、二槽超声波清洗时须先关闭鼓泡开关,待上架完成后再开鼓泡,主要避免产生碎片;
5.每个清洗周期完成后(如班次的更替),彻底更换五、六、七、八槽的清水槽;
6.清洗人员在整个清洗过程中不得直接接触硅片,必须佩带橡胶手套,以免产生指纹印;
7.为保证硅片清洗的洁净度,在脱胶前的喷淋冲洗时间最好控制在30分钟以上;
8.在使用中如遇到脏片、白斑等等问题时可及时与广华六会彩二四六的技术服务人员联系;
9.该产品在排放时只要中和、凝絮、沉降等等简单处理。
包装:25kg塑桶,1吨包装桶
 

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